扩散泵前级管道里面发现有油是怎么回事,扩散泵的前级泵是增压泵,最后是滑阀泵,真空室和管道几乎都是油这种问题发生没多久滑阀泵的抽真空能力大大的下降了,清理管道和真空室内油后

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/05/06 02:29:30
扩散泵前级管道里面发现有油是怎么回事,扩散泵的前级泵是增压泵,最后是滑阀泵,真空室和管道几乎都是油这种问题发生没多久滑阀泵的抽真空能力大大的下降了,清理管道和真空室内油后

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扩散泵前级管道里面发现有油是怎么回事,扩散泵的前级泵是增压泵,最后是滑阀泵,真空室和管道几乎都是油
这种问题发生没多久滑阀泵的抽真空能力大大的下降了,清理管道和真空室内油后,以前低真空可以只用滑阀泵抽到负一,可是现在只能抽到正一,零次方都进不了

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你的初真空都抽不好,就应确认有漏真空现象,查找顺序,真空室-->阀门-->滑阀泵(特别是初真空转高真空时的截止阀门不能串通一气)解决好初真问题再谈高真空..

扩散泵冷却要好,真空室内有油那是扩散泵返油了。
扩散泵的前级泵一定要排气顺畅,不要漏气。

扩散泵返油太严重,系统设计不合理,你用增压泵和扩散泵,是沈阳还是兰州的,我觉得你好好考虑下系统设计,成都超迈机械提供咨询

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